催化燃燒設備將符合吸附條件的有機廢氣送入活性炭吸附箱進行吸附凈化，凈化后的潔凈氣體由主排風機排入大氣中。吸附裝置配有備用吸附箱1套，當活性炭吸附飽和后通過控制閥門切換到催化燃燒脫附狀態；脫附再生系統采用在線脫附再生（也可采用離線脫附再生），即吸附過程為連續式處理工藝，在備用吸附裝置投入使用同時，飽和吸附箱則進行脫附工作，脫附后活性炭箱預備到下次循環使用。
催化燃燒設備的熱交換器先預熱到200～400→廢氣再進入燃燒室→燃燒后再經過催化劑床時碳氫化合物分子與混合氣體中的氧分子分別會被吸附在催化劑的表面而達到活化→在較低溫度下迅速氧化產生二氧化碳和水。
催化燃燒設備所發生的氣—固相催化反應的實質是活性氧參與的深度氧化作用。在催化燃燒過程中，催化劑的作用是降低活化能，同時催化劑表面具有吸附作用，使得反應物富集于表面。借助催化劑的作用使得廢氣在較低的起燃溫度條件下，發生無焰燃燒，并氧化分解為CO2和H2O，同時放出大量的熱能，從而達到有機廢氣處理設備處理有害物質的目的。
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